dataray 公司的产品以设计精密、结果可靠和易于操作著称，在某些领域具有不可替代的性价比优势。目前， dataray 在激光光束测量领域提供十几种标准型号的产品，以满足不同客户的测量需求。 激光的光束质量（ m 平方）的测量是激光器开发的基本要求，同时，激光传播方向上不同位置的强度分析是很重要的一个指标。获得激光聚焦后的精确的强度分布在很多应用上是至关重要的，例如激光器研发、流式细胞术、激光印刷、医疗激光、激光切割等。测量激光光束强度分布可以使研发和生产人员获得实时反馈，从而高效的对光学结构进行调整。而传统的测量方法需要选取某个 z 轴位置进行测量，之后分析器沿着 z 轴移动一次 , 在第二平面上再次进行测量 , 估计焦点位置 , 再沿着 z 轴调整分析仪 , 再次测量，这个过程既复杂麻烦又浪费时间。 dataray 的光束质量分析仪器能够实时的多个 z 平面的光斑能量分布，使用非常方便，能够满足各种激光研发和生产的需求。 具体到激光 m2 测量，也是采用类似的原理。 dataray 公司的 beammap2 系列光束质量分析仪的狭缝扫描是通过改变位于检测器之前的 xy 方向的狭缝，有多个位于不同 z 平面的狭缝的转盘，可以在仪器位置不变的情况下一次性测量多个 z 平面的 xy 强度分布，计算激光光斑直径和中心，实现实时测定和调整。 beammap2 能够一次性测量 4 个位置的激光光斑，从而快速推断出光束的焦点位置（精度μ m 量级）、 m 平方和激光指向和发散角等参数，一般的操作人员在几分钟之内就可以获取结果。 dataray 的光束质量分析仪是测量 m2 数值的一款非常便捷的工具，而且操作方便、结果准确。 dataray 公司的光束质量分析仪主要有以下几款产品： beammap2 – xyz θφ scanning slit system beammap2-cm collimate – xyz θφ scanning slit system beam'r2 – xy scanning slit system beamscope-p8 – scanning slit system 它们的主要区别是 beammap2 能够直接测量激光的 m 平方，而 beam'r2 和 beamscope-p8 主要用于测量不同位置的激光光斑能量分布，需要增加配件才能测量激光的 m2 。 dataray 公司 m 平方仪的规格参数 l 硅探测器 : 190~1150nm, ingaas 探测器 650~1800nm, ingaas (extended) 探测器 : 1000~2300 (2500nm); l 能够测量的激光光束直径范围 5μm~4mm; l 分辨率 0.1μm l m2 测量范围 1~20+ specification detail wavelength si detector: 190 to 1150 nm ingaas detector: 650 to 1800 nm si + ingaas detecto: 190 to 1800 nm si + ingaas (extended) detecto: 190 to 2300 or 2500 nm scanned beam diamete si detector: 5 µm to 4 mm, to 2 µm in knife-edge mode* ingaas detector: 10 µm to 3 mm, to 2 µm in knife-edge mode* ingaas (extended) detector: 10 µm to 2 mm, to 2 µm in knife-edge mode* plane spacing (4xy models) 100 µm: -100, 0, +100, +400 µm 250 µm: -250, 0, +250, +1000 µm 500 µm: -500, 0, +500, +2000 µm 750 µm: -750, 0, +750, +3000 µm plane spacing (3xyke models) 50 µm: -50, 0, +50, 0 µm 100 µm: -100, 0, +100, 0 µm beam waist diameter measurement second moment (4s) diameter to iso 11146; fitted gaussian & tophat 1/e² (13.5%) width user selectable % of peak knife-edge mode* for very small beams beam waist position measurement ± 20 µm best in x, y, and z — contact dataray for recommendation measured sources cw; pulsed lase, φ µm ≥ [500/(prr in khz)] resolution accuracy 0.1 µm or 0.05% of scan range ± < 2% ± = 0.5 µm m² measurement 1 to > 20, ± 5% divergence/collimation, pointing 1 mrad best — contact dataray for recommendation maximum power & irradiance 1 w total & 0.5 mw/µm² gain range 1,000:1 switched 4,096:1 adc range displayed graphics x-y-z position & profiles, zoom x1 to x16 update rate ~5 hz pass/fail display on-screen selectable pass/fail colo. ideal for qa & production. averaging user selectable running average (1 to 8 samples) statistics min., max., mean, standard deviation log data over extended periods xy profile & centroid beam wander display and logging minimum pc requirements windows, 2 gb ram, usb 2.0/3.0 port dataray 公司 m 平方仪的特点 l 实时测量 m 平方、发散角、准直性和指向； l beammap2 的结构紧凑，尺寸仅为 2.65 / x 2.65 / x 2.4 / ， l 融汇了多项专利技术，是目前少有的商用多平面激光束强度分析探头。 l 有亚微米的可重复性 l 可测量几微米的激光束 ,beammap2 仍然可以测量 l 硅、化铟、化铟延伸探测器覆盖了紫外线到 2500 nm 波段。 l beammap2 支持用户进行二次开发，语言包括 visual studio c + + ， labview 和 visual basic 采用传统的方式寻找聚焦后的激光光束焦点是一个漫长而痛苦的过程，而如果使用 beammap2 ，您就可以测量轴向错位 ( 指向 ) ，显示当前的焦点坐标 x,y 和 z ，估计焦点处的束腰直径，估计 m2 和 / 或激光束发散度，实现以上参数的实时测量，刷新速率为 5hz 。当 beammap2 真正靠近焦点的时候，以上估计值就变成了测量值，即获得焦点 z 坐标值、 xy 坐标值和指向角、束腰直径和辐照度、 m2 激光束质量和 / 或激光束发散度。 beammap2 的软件除了显示轮廓和直径，还可以做一些具体计算，软件算法集成了执行小二乘法双曲线拟合数据，软件可以实时显示两个轴的结果。软件的颜色条可以让用户判断激光束是否正确聚焦，其为绿色时证明结果可靠。 l m^2: 无量纲 , 当等于 1.0 时，为一个的 tem00 高斯激光束 ,> 1.0 时，为不的激光束和高阶激光束 l 2wo: μ m, 小测量束腰直径 l zo: μ m, 束腰相对于零平面的 z 值。 l zr: μ m, 激光束的瑞利范围 l pt:mr, 相对于头部的指向角 , 有时称为目标或瞄准线。 l φ :mr, 激光束远场发散 , φ l na: 无量纲 , 激光束远场数值孔径 有些情况下，用户的仪器难以接近激光的束腰，如波导切面和光纤的镜面端面 ,dataray 提供了一个由背对背精密玻璃非球面镜组成的 leplate2 ，可以将束腰成像到 beammap2 上。 beammap2 可以实现实时测量 m2 。 5hz 的刷新率允许实时准直和调整激光束实现想得到的 m2 值激光束。 beammap2 符合对 m2 测量的国际标准和技术要求，这是基于对束腰直径和远场发散的精确测量。经过长期的实践， beammap2 对不同激光组件之间的相对 m2 值可以实现非常好的区别性。 beammap2 系列 m 平方仪的配置与选型 根据需要测量的激光参数，可选择不同的 beammap2 头以适应激光束的直径和波长 : 狭缝平面间距 ,s, 可选择 50 、 100 、 250 、 500 或 750 μ m 对于束腰半径为几百微米的激光束， 5mm 可调节空间 beammap2 collimate 。 硅、化铟或化铟的衍生探测器 , 紫外到 2500nm 。 宽度为 2.5 或 5.0 μ m 的 2d ™狭缝对 , ke 模式 25 或 50 μ m 。 beammap2 系列 m 平方仪的刀口 (knife edge) 工作模式 狭缝扫描是 beammap2 系列 m 平方仪的主要工作模式，除了这个模式之外， beammap2 为几微米的激光束设计了支持 knife edge 模式的宽狭缝。刀口法（刀口模式）不能测量脉冲激光，但能够测量小尺寸的激光光束。当激光束直径远小于宽狭缝的宽度，软件自动显示和分析从前一个狭缝开始积分的功率曲线。默认激光束是高斯型，显示 2 w 值，刀口模式一般适用于非常小的激光束。 beammap2 系列 m 平方仪的专利狭缝技术 dataray 开发了特定的专利狭缝用于测量低瑞利范围激光束。 标准的狭缝扫描的传统 ‘空气&quo;狭缝在 z 方向厚度达到 12.5 或 25 μ m, 少 6 μ m 。对于聚焦激光束，标准狭缝更像部分反射隧道而不是二维缝。这降低了焦点的精度。 true2d ™狭缝是利用光平板印刷术在半导体抛光蓝宝石基板镀上多个不透明层，使得总厚度仅为 0.4 微米 , 比好的空气缝隙要薄一个数量级，能够对高功率密度的聚焦激光束进行准确的分析。